- Descrierea produsului
Chromatometru cu heliu-ion pentru analiza cu tetraclorosilanAplicat pentru detectarea urmelor de impurități în gazele industriale electronice, concentrația mică de testare poate ajunge la 5ppb. Instrumentul este echipat cu detector de ionizare a heliului de înaltă sensibilitate, care utilizează tehnologia de tăiere centrală a companiei Huaei, supape de preluare cu căi de aer de protecție pentru suflare; Întreaga mașină este proiectată cu mai multe coloane și este echipată cu un sistem de corecție automată a presiunii de preluare a eșantioanelor pentru a asigura cantitatea de preluare a eșantioanelor de diferite benzi. Produsul a fost premiat cu succes prin proiectul de transformare a realizărilor de înaltă tehnologie din Shanghai.
Silicium (SiHCl)3Conținut (fracțiune de volum) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Diclorosilan (SiH)2Cl2Conținut (fracțiune de volum) / l0-6 ≤ | 400 | 25 | |
Metil diclorosilan (SiCl)2CH4Conținut (fracțiune de volum) / l0-6 ≤ | 200 | 50 | |
Conținutul de metale și alte elemente | Conținut de (bor + aluminiu) (B + Al) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.1 |
(fosfor + arsen) (P + As) / (µg / kg) ≤ | —— | 0.3 | |
Conţinutul de galiu (Ga) / (µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Conținutul de antimon (Sb)/(µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Conţinutul de indiu (in) / (µg/kg) ≤ | —— | 0.5 | |
Calcium (Ca)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conţinutul de crom (Cr)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conținutul de fier (Fe)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conţinutul de potasiu (K)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conţinutul de sodiu (Na)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conţinutul de nichel (Ni)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conținutul de molibden (Mo) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conținutul de mangan (Mn) / (µg / kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Cupru (Cu)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Cadmiu (Cd) /(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conţinutul de cobalt (Co)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conţinutul de zinc (Zn)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 | |
Conţinutul de vanadiu (V)/(µg/kg) ≤ | 1 | 0.5 |