Senzorul de presiune ultra-miniatur CYG502, cu diametrul exterior nominal de 2 mm, este conceput special pentru utilizarea în experimente de mecanică a fluidelor care necesită dimensiuni de instalare mai mici. Este cel mai mic senzor de presiune pe care compania noastră îl lansează în prezent.
Componentele sensibile la presiune ale CYG502 sunt proiectate și fabricate cu ajutorul tehnologiei avansate MEMS (Miro Electronic Machinical Systems). Elementele sensibile la presiune din siliciu integrate tridimensionale și prelucrate pe două fețe oferă o precizie liniară excelentă. Consistența ridicată a podului de tensiune Whiston, realizat cu injecție ionică și tehnologie de fotografie fină, îi permite să aibă o scurgere de temperatură foarte mică. Utilizarea tehnologiei de legare directă a siliciului și siliciului, proiectarea slotului V inversat, astfel încât să se realizeze optimizarea dimensiunii filmului subțire a cipului, reducerea întregii dimensiuni a cipului la dimensiunea de 1 x 1 mm, în timp ce sensibilitatea de ieșire poate încă ajunge la 100kpa, realizând o descoperire critică pentru senzorii ultra-miniaturi.
Schimbarea legăturii siliciu-sticlă în designul tradițional cu legătura siliciu-siliciu îmbunătățește efectul de potrivire termică și reduce instabilitatea zero provocată de stres.
În prezent, varietățile de produse de măsurare a presiunii absolute sunt disponibile pe piață, iar tipul de suprapresiune este în curs de dezvoltare.
Senzorul de presiune ultra-miniatur CYG502A este în formă de sondă, cu diametrul extern standard de Ф2,15 mm, lungimea de 18 mm, cu o gamă opțională a senzorului de presiune absolută de 100, 160, 250, 400, 600, 1000, 1600, 2500 și 4000kpa.
Senzorul de presiune absolută CYG502A suportă presiunea frontală cu componente sensibile. Prin urmare, se aplică numai gazelor uscate cu medii care nu sunt corozive și neconductive. Are o zonă de temperatură de lucru destul de largă, de până la -55 ° C ~ + 120 ° C, de asemenea, are caracteristici dinamice foarte bune de frecvență înaltă, frecvența inerentă a componentelor sensibile de scară minimă > 200kHz, timpul de creștere este sub-microsecunde.
1. parametrii indicatorilor de performanță
| Indicatori/Graduri | Precizie neliniară ±%FS |
Repetitivitate întârziată %FS |
Coefficient de temperatură zero ×10-4FS /℃ |
Factor de temperatură de sensibilitate ×10-4FS /℃ |
Plătește la zero <mv/8h |
| JA | 0.5 | 0.1 | 5 | 5 | 0.2 |
| JB | 0.2 | 0.1 | 2 | 2 | 0.1 |
2, ieșire pe scară completă: valoarea minimă 30mv valoarea tipică 80mv valoarea maximă 130mv
Impedanța de intrare și ieșire: valoarea minimă 3 kΩ valoarea tipică 5 kΩ valoarea maximă 7 kΩ
4, curent de lucru de intrare: 1.5mA (tip de tensiune metrică) 1mA (tip de tensiune absolută) (sursă de curent constant)
Intervalul de temperatură de lucru: -55 ℃ ~ 120 ℃
Intervalul de temperatură de compensare: -10 ℃ ~ 80 ℃
Capacitatea de supraîncărcare: 200% din gama nominală
Sensibilitate la accelerație: <0,001% FS/g
Dimensiuni: CYG502A

