Cataliză la temperatură scăzută - sistem de purificare cu dezazotare la temperatură ridicată

Acest sistem de purificare utilizează un catalizator patentat de casă, acest catalizator are o durată de viață lungă, o adâncime ridicată de purificare și o capacitate puternică de fluctuare instantană a gazelor antigiene; Folosind procesul de absorbție fizică și reacție chimică, mai întâi la temperatura camerei, o cantitate mare de impurități H2O, O2, CO, CO2 din gazele inerte și hidrogenul (H2) sunt eliminate, apoi impuritățile rămase și N2 sunt eliminate prin turnul de aspirație la temperatură ridicată, astfel încât impuritățile de gaz pur de export să fie sub 1 ppb. Acest dispozitiv are o durată de viață lungă, funcționare simplă și alte caracteristici.

Performanța produsului

Este potrivit pentru utilizarea cu gaze brute cu puritate nu mai mică de 99,999%.

◎ Acest produs este o structură dublă, un set de lucru, un alt set de regenerare de rezervă

Adâncimea de purificare ridicată, conținutul diferitelor impurități de export <1ppb

◎ electrochimic lustruit 316 (L) din oțel inoxidabil

Filtru eficient de 0,003 microni încorporat

◎ Acest purificator este configurat cu un turn de pre-purificare pentru a elimina o cantitate mare de impurități înainte de turnul de absorbție de consum prețios, astfel încât să se prelungească viața de utilizare a absorbției de consum prețios

Aplicații produse

◎ Purificarea terminalelor de gaze industriale electronice precum siliciu monocristalin de înaltă puritate, extinderea cipurilor, circuitele integrate pe scară largă și producția de produse fotoelectrice

◎ echipamente de proces semiconductor: CVD, MOCVD, HVPE, cuptor de difuzie etc.

• Purificarea gazelor

Parametrii sistemului