Spectrometria de masă plasmatică cuplată prin inducție (ICP-MS) este o nouă tehnică de analiză a elementelor inorganice și a izotopilor care detectează rapid aproape toți elementele din tabelul periodic în același timp. Tehnologia ICP-MS depășește capacitatea analitică a tehnologiilor analitice anorganice tradiționale, cum ar fi Tehnologia de spectroscopie cu plasma cuplată prin inducție (ICPAES), absorbția atomică a cuptorului de grafit (GFAAS) și absorbția atomică rece a mercurului (CVAAS) împreună, fiind cunoscută ca cea mai interesantă dezvoltare a tehnologiei analitice contemporane.

Domeniile de aplicare ale tehnologiei Agilent ICP-MS includ:
Analiza mostrelor de mediu, inclusiv apa de robinet, apa de suprafață, apa subterană, apa de mare și analiza diferitelor soluri, deșeuri etc.;
Analiza materialelor semiconductori
Analiza mostrelor de sticlă, ceramică și metalurgie;
• cercetarea geologică;
cercetări clinice în domeniul bioalimentar și medical;
Analiza materialelor nucleare
• analiza mostrelor petrochimice;
• aplicații și cercetare medico-juridică;
Recent, utilizarea tehnologiei de separare în combinație cu toxicitatea mediului, științele vieții și alte domenii ale valorii elementelor și a analizei morfologice a devenit un punct focal al aplicațiilor tehnologiei ICP-MS.
Caracteristici de analiză ICP-MS:
Detectarea rapidă simultană a aproape tuturor elementelor din tabelul periodic
Limita minimă de detectare (până la nivelul ppq)
Analiza optimă a raportului beneficiu/cost
Cel mai larg interval dinamic liniar – detectarea directă a concentrațiilor de la ppq la sute de ppm
● Linia spectrală este cea mai simplă, interferența minimă, precizie și precizie bune
Necesitatea de cantitate mică de eșantion (ul la ml), viteza de analiză foarte rapidă (1-3 minute / eșantion)
Module flexibil de detectare
Analiza poluanților în materiale frecvente în industria semiconductorilor:
Solide: Si; GaAa felii monocristaline; Materiale de cuptor precum cuarţ, carbură de siliciu; Electrodi metalici de înaltă puritate etc.
Lichid: apa ultrapură; HF;HNO3; HCI; H2SO4; H2O2; Amoniac etc.
gaze: SiH4; TE0S; NF3; N2 și altele
Agilent ICP-MS analizează direct probele organice:
Tehnologia de plasma rectrăcită cu scut de înaltă performanță și de înaltă putere a Agilent ICP-MS a fost folosită pentru a determina urmele de poluare la nivel ppt într-o gamă de eșantioane organice.
Pentru unele dintre aceste eșantioane, alte metode nu pot obține rezultate satisfăcătoare, iar tehnologia de plasma rectrăcită de scutire de înaltă putere este singura metodă de analiză.
● Curăţător alcalin puternic - tetrametilhidroxid de amoniac (TMAH) etc.
Solvenți organici obișnuiți - metafen, metafen, IPA etc.
● Eșantioane cu matrice ridicată - lipicizi, cristale lichide, BPSG, PSG și alte detergenti extrem de volatili - aceton, metanol etc.