Prezentare generală a platformei de izolare activă

STACIS ® III este un sistem de izolare activă flexibilă. Sistemul de izolare activă a vibrațiilor STACIS utilizează senzori avansați de vibrații inerțiale, algoritmi avansați de control și actuatori piezoelectrici pentru a filtra mișcarea solului prin măsurarea continuă a activității de la sol, apoi prin extinderea și contractarea actuatorilor piezoelectrici pentru a elimina vibrațiile în timp real.

STACIS** a fost inițial conceput pentru izolarea echipamentelor de micrografie, măsurare și inspecție de precizie în fabricile avansate de semiconductori și a devenit acum soluția standard din industrie** pentru instrumente sensibile în medii zgomotoase, inclusiv, dar fără a se limita la, fabrici de semiconductori, laboratoare de analiză a defecțiunilor, cercetare nanotehnologică, instalații de nanofabricație și centre de cercetare a materialelor.

Sistemul de izolare activă a vibrațiilor STACIS III include un nou controller digital îmbunătățit DC-2020. Acest nou sistem de control** are un nou procesor dual-core, Ethernet și port serial USB pe panoul față și spate, oferind utilizatorilor o interfață grafică de utilizator (GUI) modernă și ușor de utilizat. Cu sute de instalații de succes în întreaga lume, STACIS este sistemul ideal de izolare vibrațională pentru instrumentele sensibile la vibrații**.

Avantajele sistemului de izolare activă STACIS III

STACIS este de sute de ori mai puternic decât izolatorul de aer și nu are limitele unui sistem de izolare a aerului. Nu are suspensie "moale" și, spre deosebire de sistemul de aer activ, STACIS poate fi plasat sub unelte cu un sistem de izolare a aerului activ intern, astfel încât ambele sisteme să funcționeze în starea ***.

Designul unic în serie și tehnologia piezoelectrică proprietară de înaltă putere permit o lățime de bandă activă largă de 0,6 Hz***150 Hz și o performanță de izolare activă**90% de la 2 Hz.

Caracteristici ale platformei de izolare activă STACIS III

▪ ** Noul controller digital DC-2020 îmbunătățit cu interfață grafică ușor de utilizat

▪ Izolarea începe la 0,6 Hz și atinge o rată de izolare de 40% *** 70% la 1 Hz

▪ La frecvențe de 2 Hz și mai mari, izolația verticală și orizontală este mai mare de 90%

▪ Reducerea cerințelor de infrastructură și a costurilor de construcție pentru a funcționa chiar și cu echipamente de vibrații externe mari

▪ Intervalul de izolare eficientă, de la 0,6 Hz la 150 Hz

▪ Obțineți recunoașterea și recunoașterea largă a numeroși utilizatori

▪ 6 direcții de instalare rigidă, fără suspensie aeriană

▪ Sisteme de control puternice fără recalibrare periodică

▪ Soluție de proiectare point-of-use, compatibilă fără probleme cu sistemele de izolare vibrațională existente ale clientului

▪ Pe măsură ce mediul extern se schimbă, sistemul se reglează automat pentru a se adapta diferitelor situații de vibrații externe

▪ STACIS din TMC ® Tehnologia de amortizare activă prin utilizarea actuatorului piezoelectric

▪ Controlor digital și interfață grafică de utilizator (GUI) bazată pe PC

▪ Îmbunătățirea producției, calității și ratei de producție.

▪ Conform standardului RoHS

▪ ** Lățime de bandă largă de izolare activă, efect de izolare de frecvență scăzută **

▪ Eliminarea activă a vibrațiilor de la Yahrtz *** în principal în banda de frecvențe 0,6-6Hz

▪ Design stivibil

▪ Structură activă de montare rigidă, în loc de suspensie moale, fără derivare de frecvență scăzută, componente active conectate la un arc rigid

▪ Eloave pasive filtrează rezonanța sarcinii de la senzorul STACIS și necesită foarte puține reglări, chiar și fără reglare

▪ Deoarece impedanța nu se potrivește, izolatorul intern al instrumentului este compatibil

▪ Sarcina de până la 2000 kg

▪ Sisteme de izolare activă pe piață**

Performanța platformei de izolare activă

Vibrații simulate cu VC-C (500 μin/s, 12,5 μm/s RMS) pentru testarea sarcinii utile de 4.500 lb (2.045 kg)

Specificații pentru platforma de izolare activă

Specificații de performanță

Utilizatori STACIS și domenii de aplicare

Microelectronică, semiconductori

▪ Detectarea cipurilor

▪ Tehnologie de micrografie

▪ Calibrare mască

Cercetare științifică, nanotehnologie

▪ SEM、TEM

▪ STEM、SPM

3. stația laser

▪ Științele vieții și dezvoltarea medicamentelor

4 Aplicații industriale

▪ Prelucrare de precizie

De ce să alegem un sistem de izolare activă?

▪ Eliminarea puternică a vibrațiilor de la sol începând cu <1Hz, iar platforma pneumatică nu poate juca o izolare eficientă a vibrațiilor la această frecvență scăzută

▪ Creșterea calității și a productivității

▪ Capacitate de imagini cu caracteristici mai mici

▪ Cercetare de frontieră

▪ Mai stabilă decât platforma pneumatică

▪ Soluții** care îndeplinesc parametrii de instalare standard SEM

▪ Costuri mai mici pentru noi echipamente de laborator și cercetare

De ce să alegeți STACIS

▪ Este în inima cercetătorilor, pentru a oferi un mediu fără cutremure cât mai mult posibil.

▪ ** Sistem puternic de izolare de vibrații de frecvență scăzută pe piață.

▪ În prezent, toți producătorii SEM au publicat cerințele pentru parametrii de instalare, iar parametrii de vibrație necesari necesită un sistem activ de izolare a vibrațiilor pentru a fi îndepliniti.

▪ STACIS** a fost inventat în anii 1990 și a fost dezvoltat, dezvoltat și instalat de TMC prin mii de sisteme de izolare activă a vibrațiilor, o soluție de încredere oferită în domeniul controlului activ al izolării vibrațiilor.

STACIS este de sute de ori mai rigid decât izolatorul pneumatic

Timpul de stabilizare este redus considerabil ca răspuns la perturbații datorită designului unic în serie și este ideal pentru construcția mașinilor, sarcinile dinamice, laser sau suprafețe rigide independente care necesită instalarea unei surse de lumină.

Următoarele avantaje sunt în industrie **

▪ Lățimea de bandă activă de izolare STACIS este de 0,6 Hz - 150 Hz

▪ Eliminarea vibrațiilor active la 6 grade de libertate, cu intervale de vibrații de 8-10dB la 1Hz

▪ De la 2-3Hz, izolarea vibrațiilor poate ajunge la 90% (20dB)

Studii profesionale de mediu

Studii de mediu înainte și după instalare, inclusiv vibrații, câmpuri magnetice și unde sonore

Certificarea sistemului de mediu după instalare

▪ Servicii perfecte de cercetare a mediului

▪ Elaborarea unui raport de mediu profesional

▪ Oferă detectare și soluții pentru vibrații, câmpuri magnetice și unde sonore

▪ TMC recomandă utilizatorilor soluții de utilitate pe baza experienței sale extinse

▪ Peste 40 de ani de experiență în industrie **

Aplicați fotografii